景通精密測量儀器友情提示：
由于該產品已進行多次功能升級和更新迭代，我們不保證VIEW MicroLine 300自動化影像測量儀提供的圖片和各項參數等信息均為最新，我們建議您點擊此處聯系我們的在線工程師為您服務，同時我們也歡迎您電話咨詢：!
技術規格：
- 測量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)
- 平臺運行: 交叉滾軸手動同軸定位和快速釋放
- 視場內的測量精度: 0.010μm (用100x物鏡)
- 特征尺寸: 視場內0.5μm - 400μm
- FOV測量重復性: <0.010μm on wafers (用100x物鏡)<0.005μm on photomasks (用100x物鏡)
- 照明: 石英鹵素燈, 反射光自動照明
- 低噪音CCD VGA格式攝像頭
- 圖像處理60幀每秒格：
- 測量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)
- 平臺運行: 交叉滾軸手動同軸定位和快速釋放
- 視場內的測量精度: 0.010μm (用100x物鏡)
- 特征尺寸: 視場內0.5μm - 400μm
- FOV測量重復性: <0.010μm on wafers (用100x物鏡) <0.005μm on photomasks (用100x物鏡
- 照明: 石英鹵素燈, 反射光 自動照明
- 低噪音CCD VGA格式攝像頭
- 圖像處理60幀每秒
MicroLine 300的典型應用包括：
l 晶圓
l 光罩
l MEMS
l 微型組件
測量類型:
關鍵尺寸:
線寬 Linewidth
節距 Pitch
間隙 Spacing
Overlay
Multi-layer registration，Box in box，Circle，Edge roughness，Butting erro