美國Micro-VU Vertex系列測量儀
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品牌
MicroDemo
產品編號
1293
產品型號
美國Micro-VU Vertex系列測量儀
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型號Vertex251HM/HCVertex251UM/UCVertex311HM/HCVertex311UM/UC
XY 精度Uxy=2.0+L/200Uxy=1.8+L/200Uxy=2.6+L/200Uxy=2.0+L/200
Z 精度Uz=2.0+L/150Uz=2.0+L/150Uz=2.0+L/150Uz=2.0+L/150
XY 重現性2.0μm1.8μm2.6μm2.0μm
Z 重現性2.0μm2.0μm2.0μm2.0μm
XY 加速度500mm/S2
Z 加速度200mm/S2
XY 移動速度250mm/s
Z 移動速度100mm/s
光學尺分辨率0.1μm
量測行程250x160x160mm315x315x160mm
外形尺寸606x800x775mm720x1085x1030mm
重量120kg150kg
承載重量10kg12kg
基座材質鋁合金
傳動方式Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z
電控系統伺服系統: CNC, 鼠標,搖桿
光學系統&放大倍率6.5:1光學Zoom,20-390x12:1光學Zoom,15-540x6.5:1光學Zoom,20-390x12:1光學Zoom,15-540x
影像&光源紅光LED (黑白系統)或白光 LED(彩色系統)
軟件InSpec for Windows Metrology Software
工作環境20℃±2°,30-80% 濕度
備注Vertex311系列可選擇加高型,Z軸250mm
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