Veeco的3D共聚焦顯微鏡VCM
2016-04-29新聞資訊
Veeco共聚焦計量顯微鏡（縮寫VCM?），將Zui新的共聚焦技術、納米水平測量技術結合于普通的顯微鏡上，方便實用。具有快速、非接觸式的樣品三維檢測特征，亞微米級的橫向分辨率、納米級的縱向分辨率。VCM共聚焦顯微鏡為高曲率、陡峭斜率樣品的分析，及透明介質或半透明膜的測量提供了理想的解決方案。
VCM 3D共聚焦顯微鏡有多種型號，從手動到電動：
VCM150- 手動型，適合樣品高達150mm（6英寸）；
VCM200– 手動或電動，適合樣品達200mm（8英寸）；
VCM300- 手動或電動，適合樣品達300 mm（12英寸）。
描述：
碟片共聚焦技術提供精確的樣品三維測量，獨有的實時觀察中“live view”功能；
完全特征化的陡峭斜率測量，可檢測高達70°的斜率；
透明層的非接觸式分析，完全勝任厚基質上的、或環境室內樣品的檢測；
靈活、方便，Nikon金相顯微鏡為平臺，可做明視場、暗視場、DIC技術。
參數：
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? ? ? |
標準工作距離 |
長工作距離 |
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放大倍數 |
5X ???10 X ???20 X ??50 X ??100 X ????? |
20 X ??50 X ???100 X ? |
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數值孔徑 |
0.15?? 0.25?? 0.25?? 0.80?? 0.90 |
0.4???? 0.55??? 0.8 |
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工作距離（mm） |
18? ???15?? ??4.5?? ???1?? ???1 |
13? ????9.8?? ??3.5 |
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顯微鏡平臺 |
Nikon顯微鏡，明場、暗場，選配DIC |
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光學系統 |
Nipkow碟片 |
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檢測 |
彩色CCD |
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光源 |
金屬鹵素燈 |
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圖例：
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1. 硅片太陽能電池
2. 共聚焦切片的高深寬比
3. 玻璃上的激光蝕刻微通道